电子技术正在飞速的蓬勃发展，其中不乏一些纳米级精密微小的微电子器件，而在低温环境或者变温环境下去测试它的电学性能（如电流、电压、阻抗等）时，能提供良好低温电测环境的这台配有显微镜的PSM-PM系列永磁铁低温探针台便进入了各大研究院及研究人员的视野之中。
一、PSM-PN系列永磁铁低温探针台有哪些优势
PSM-PM系列永磁铁低温探针台是一款专门针对低温垂直磁场电测环境开发的探针台，提供0.5T垂直磁场，能够对最大2寸晶圆片进行重复性的、标准的电学实验，外接不同的测试设备可以完成对器件的电学特性测量、参数测量、DC测量、RF测量和霍尔测量。 它能够通过显微镜和CCD将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进行扎针，再外接电学测试仪表进行测试和分析，在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。
二、PSM-PN系列永磁铁低温探针台有哪些特点
• 永磁铁低温探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性
• 独特的探针臂X-Y-Z-R四维调节，能满足最大2英寸样品的测试
• 样品座可以放置最大2英寸的晶圆样品
• 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性
• 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K
• 永磁铁采用电动滑台控制，可以实现前进后退翻转运动
• 永磁铁支架与探针台采用分体隔离支架，在磁体运动时避免振动传导到样品上
• 测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温
三、PSM-LN2系列液氮高低温探针台由哪些系统组成
1.样品座
• 无氧铜样品座
• 表面有独特设计，防止样品滑动
• 最大可容纳2英寸样品
2.探针
• 直流&射频探针
• 螺钉固定，更换方便
• 射频探针频率高达67GHz
3.直流探针臂
• 标配4个直流探针臂
• 可进行X-Y-Z-R四维移动
• 可进行360度自由旋转
• 三同轴接头和低噪声同轴线
• R轴独特设计，能满足2英寸样品全区域的扎针
4.温度控制系统
• 闭环PID温度控制
• 可调节加热器输出，最大加热功率75W
5.真空腔体
• 采用O圈密封，带2英寸可视范围石英窗口
• 真空度能够达到到5E-4torr
6.光学系统
• 显微镜的放大倍数是10-180倍
• 分辨率3μm
• 兼配同轴光源和环形光源，保证各种样品的清晰度
• 显示器有录像、拍照、测量功能
7.永磁铁组件
• 提供0.5T固定磁场
• 永磁铁可XYZ调节，其中X方向可自动移动，高精度定位，行程±150mm
• 自动控制磁铁N.S极翻转
• 大极头永磁铁，使样品都置于磁场中心均匀区中
8.振动隔离支架
• 永磁铁与探针台采用分体隔离支架
• 可滚轮移动
• 尺寸和高度可定制
